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> 等离子振动反应室的研究
等离子振动反应室的研究
等离子振动反应室的研究
资料类型:
PDF文件
关键词:
硅粉提纯
振动阴极
射频感应
资料大小:
275K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
通过对振动阴极反应室的研究,针对粉粒与金属阴极接触的问题,提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈,振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果,又避免掺入杂质,是一种可行的新反应室设计。
作者:
赵亮,尹盛,王敬义,赵伯芳
上传时间:
2008-05-19 15:41:04
下载次数:
59
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